WL-TCO™（次世代 ITO 靶材）

概要

Particle抑制型 ITO 靶材「WL-TCO」

WL-TCO 為新一代 ITO 靶材，可降低傳統 ITO 靶材在鍍膜過程中產生的Particle與蝕刻殘留問題，實現膜質穩定化與良率提升。
並且可在無需導入水分的條件下進行成膜，有助於提升製程條件設定的靈活度。