概要
滿足大面積與高效率需求的圓筒形靶材
圓筒形濺鍍靶材透過旋轉進行成膜，可提升膜厚均勻性，並大幅提高材料利用效率。因此，自 2000 年代後期以來，隨著大尺寸面板及高產能設備需求的增加，圓柱設備逐漸獲得廣泛應用。
特別是在中國市場，圓筒形濺鍍設備的導入持續擴大，由於兼具低Particle及長使用壽命等優勢，能滿足製造現場需求而備受關注。
本公司除 ITO、IGZO 外，亦提供 WL-TCO 及高遷移率材料等多種組成的圓筒形靶材，滿足最新濺鍍設備應用需求，為客戶提供穩定且高品質的成膜解決方案。
特色/優勢
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獨有的高密度化技術
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確保均質的微細結構
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以低Particle實現穩定成膜
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可依組成與設備規格進行客製化
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具備完善的組織觀察與膜特性分析體制
用途範例
・平面顯示器
・觸控面板
・車載顯示器
・太陽能電池
・光學薄膜
・建材用途（Low-E 玻璃、節能窗戶、建築外牆）
・車用玻璃功能性鍍膜
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