概述
颗粒抑制型ITO靶材“WL‑TCO”
WL‑TCO是一种新一代ITO靶材，可有效降低传统ITO靶材中存在的颗粒生成及蚀刻残留问题，实现膜质稳定性提升与良率改善。同时，无需引入水分即可完成成膜，有助于提升工艺条件的自由度。
特点与优势
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通过独有的MMF法与CIP法实现高密度化
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均质的微细结构与优异的膜均匀性
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可根据需求进行成分调控与性能优化的定制化设计
应用示例
・高精细显示器
・智能手机
・平板电脑
・车载显示器
・光学薄膜
・太阳能电池
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