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薄膜材料事业部

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本公司生产并提供定制各类溅射靶材,包括Cu、Al、Ti、Mo等金属靶材,以及In₂O₃、ZnO、SnO₂、AZO、TCO等氧化物靶材,并涵盖SiN、AlN等氮化物及各类化合物靶材。 面向显示器、半导体、太阳能电池、光学薄膜、建筑玻璃及传感器等多种应用领域,为各类薄膜形成工艺提供最适合的材料解决方案。

概述

支持多种材料的溅射靶材制造技术

基于多年积累的靶材制造技术,本公司可灵活应对金属、氧化物及氮化物等多种材料需求。通过粒径控制、均质化及高密度化等核心技术,可针对新材料及特定组成进行定制化开发。我们将根据不同的用途及成膜特性,为客户提供最优的靶材方案,欢迎随时咨询。

应用示例

・平板显示器
・半导体器件
・钙钛矿太阳能电池及新一代TCO薄膜(清洁能源领域)
・光学薄膜及红外涂层(航天/航空应用)
・生物传感器
・医疗设备用功能膜
・车载器件
・建筑用玻璃
・电子产品

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