WL-TCO™（次世代ITOターゲット）

概要

パーティクル抑制型ITOターゲット「WL-TCO」

WL-TCOは、従来ITOターゲットの課題であったパーティクル発生やエッチング残渣を低減し、膜質の安定化と歩留まり向上を実現する次世代ITOターゲットです。水分導入を必要としない成膜が可能で、工程条件の自由度向上にも貢献します。