Post-IGZO開発

業界実績 No.1

マテリアルの知恵を活かし、

お客様のニーズにあった

スパッタリングターゲットをご提供します。

市場・お客様の声

お客様より「FPDにもっと高付加価値を付けたい」
「IGZOをもっと高移動度化させたい」といったお声をいただくことがありました。

開発者の声

これまでもお客様からの要望はありましたが、開発体制等を整えることができず、実現に至ることはありませんでした。
しかし今回、評価技術が整ったことで、これまでITO・IGZOで磨いてきたターゲット材生成技術と併せ、「高機能・高精細」へ向けた新たな材料の開発に成功しました。

移動度が高いことのメリット

TFTの電流密度を上げることができ、
高精細化、OLEDへの適用などが可能に。

リーク電流が抑えられることのメリット

TFTオフ時の電流リークがないため、低周波数駆動が可能。消費電力低減につながります。

ノジュールレスであることのメリット

ノジュールの発生がなく、アーキングが極めて少ないです。そのため、パーティクルを抑制でき、安定した成膜が可能です。

世界に誇る

三井金属のターゲット材

IGZOターゲットのパイオニアとしての実績は10年以上。

IGZO黎明期から続くターゲット提供により、

様々なお客様の開発をサポートしてきました。

長きにわたりお客様のご要望に応じて

様々な組成、サイズ、形状のターゲットを製造してきただけでなく、

平板形状、円筒形状、いずれの形状においても豊富な量産実績があります。

今後も、これまでの経験に基づいて、

お客様のご要望を早期に実現するだけでなく、

高移動度材料などの新材料開発に向けて積極的に取り組んでいきます。

お問い合わせ後、ヒアリングを行った上でお客様のご要望に合わせてご提案させていただきます。
まずはWEBお問い合わせフォームより、お気軽にご連絡ください。