개요
파티클 억제형 ITO 타겟 ‘WL-TCO’파티클 억제형 ITO 타겟 ‘WL-TCO’
WL-TCO는 기존 ITO 타겟의 과제였던 파티클 발생과 에칭 잔사를 저감하여, 막 품질의 안정화와 수율 향상을 실현하는 차세대 ITO 타겟입니다. 또한 수분 도입이 필요 없는 성막이 가능하여 공정 조건의 자유도 향상에도 기여합니다。
특징·강점
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독자적인 MMF법 및 CIP법을 통해 고밀도화 구현
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균질한 미세구조와 높은 막 균일성
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조성 제어 및 특성 최적화를 위한 맞춤 대응 가능
적용 분야
• 고해상도 디스플레이
• 스마트폰
• 태블릿
• 차량용 디스플레이
• 광학막
• 태양전지
WL-TCO(차세대 ITO 타겟)에 대해 더 알고 싶은 분들께
제품 도입 사례 및 기술 상담 등에 대해서는 부담 없이 문의해 주시기 바랍니다.
