개요
대면적 및 고효율화 요구에 대응하는 원통형 타겟
원통형 스퍼터링 타겟은 회전하면서 성막을 수행함으로써 막 두께의 균일성을 향상시키고, 재료 이용 효율을 크게 높일 수 있습니다. 이로 인해 2000년대 후반부터 대면적 패널 및 고스루풋이 요구되는 장비를 중심으로 적용이 확대되어 왔습니다.
특히 중국 시장을 중심으로 원통형 스퍼터링 장비의 도입이 확대되고 있으며, 저파티클화 및 장수명화가 요구되는 제조 현장에 적합한 형상으로 주목받고 있습니다.
당사는 ITO 및 IGZO를 비롯해 WL-TCO 및 고이동도 재료 등 다양한 조성의 원통형 타겟을 공급하고 있으며, 최신 장비에 적합한 고균일 PVD 형성과 안정적인 공정을 실현합니다。
특징·강점
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독자적인 고밀도화 기술
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균일한 미세구조 확보
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저파티클로 안정적인 성막 구현
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조성 제어 및 장비 사양에 맞춘 맞춤 대응 가능
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조직 관찰 및 막 특성 측정 등 충실한 분석 체계 구축
적용 분야
• 평판 디스플레이
• 터치패널
• 차량용 디스플레이
• 태양전지
• 광학막
• 건축 자재 분야(Low-E 유리, 기능성 창호, 건축 파사드)
• 차량용 유리의 PVD 코팅
원통형 스퍼터링 타겟(Rotary Target)에 대해 더 알고 싶은 분들께
제품 도입 사례 및 기술 상담 등에 대해서는 부담 없이 문의해 주시기 바랍니다.
