SiC抛光液（NANOBIX™）

概述

用于SiCWafer高性能研磨浆料 NANOBIX™

作为功率元器件（Power device）用途而备受关注的碳化硅（SiC）单晶，由于其非常坚硬的特性，要将其表面抛光到原子级的平滑度，需要优良的研磨技术和长时间的研磨。本公司利用迄今为止积累的抛光液开发技术，成功开发出了能够在极短时间内将SiC表面加工得极为平滑的抛光液。