SiC基板用研磨材（NANOBIX™）

概要

SiCウェーハ用高性能研磨スラリー NANOBIX™

パワーデバイス用材料として注目されている炭化ケイ素 (SiC) 単結晶は非常に硬い材料であることから、この表面を原子レベルまで平滑にするには優れた研磨技術および長時間の研磨が必要でした。当事業部では、これまで培ってきた研磨材料開発の技術を活かし、SiC表面を極めて平滑に、かつ短時間で加工できる研磨材料の開発に成功しました。