HC-SC（シリコン含浸炭化珪素 / Si-SiC）

概要

気密性と高温強度を両立したシリコン含浸炭化珪素

高緻密かつ高強度を実現した材料で、低気孔率による優れた気密性と高温域まで安定した強度・耐酸化性を備えています。
高い熱伝導率と耐摩耗性を併せ持ち、半導体製造装置や高温炉用部材など過酷環境で信頼性が求められる用途に適しています。