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カーボン材の寿命向上
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SOLUTION
カーボン材での課題を解決します
部材の劣化を抑制したい
複雑形状のものにコートしたい
コート剥がれを抑制したい
MERIT
コートによるメリット・効果
部材の劣化を抑制
カーボン基材に耐食性コートを実施しました。
耐食性コートの効果で長寿命化が認められます。
複雑形状な炭素材にも被覆可能
複雑な炭素材にも耐食性コートが実施できます。
大気中の焼成でも、耐食性コートで明確な長寿命化効果が認められます。
剥がれを抑制
iconos™ × 独自のコート技術で、基材内部にiconos™成分が浸透し密着性が向上、剥がれの抑制ができます。
COATING
コート受託について
カーボン、黒鉛材へのコート受託を承っています。
炉の部材やシリコンウェハ製造時のサセプタへのiconos™(NbC、TaCなど)コートも可能です。
iconos™使用による密着性向上で使用時の剥がれ抑制にも期待できます。
iconos™は無機不純物が少なく、下地材料に対して目的元素の高純度被覆が可能です。
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